浅析硬质涂层的开展现状及将来趋向
日期:2011-07-29 01:29
冷却，使得液滴尺寸小于1微米。Platit公司采用的是柱状电弧技术，在电弧工作的同时，靶管旋转，使靶材获得充分的冷却，其宣称的液滴尺寸为0.01微米量级。磁控溅射技术也在不断进展，Teer公司提出的闭合磁场非平衡磁控溅射技术能够大幅度提高离化率，成为磁控溅射膜层质量提升的关键。随着中频孪生磁控技术和非平衡磁控溅射技术的结合，磁控溅射技术已经能够获得与电弧技术相当的优质膜层。
2000年以后，在国内许多城市都出现了很多国外公司的硬质涂层加工中心。尤其以长江三角洲居多，Balzers，CemeCon，IonBond，Hauzer等在苏州建厂，Platit，Teer，Sulzer在上海建厂，更多
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