浅析硬质涂层的开展现状及将来趋向
日期:2011-07-29 01:29
tit和Sulzer，德国的CemeCon和PVT，英国的Teer等公司。其中，只有CemeCon和Teer公司是采用磁控溅射技术，而其它公司都以阴极电弧离子镀技术为主。电弧技术和磁控溅射技术的区别主要为：电弧技术可以获得接近90％的离化率和较快的沉积速率，但存在液滴的问题；磁控溅射技术可以获得平整的表面，但离化率和沉积速率都相对较低。
目前，两种技术都在不断向前发展。Balzers公司采用的是最传统的小圆弧技术，但是通过提高圆弧靶的直径的方式，提高了冷却效率，使得液滴的尺寸相对传统圆弧更小。PVT公司采用的是矩形电弧技术，用增大面积和加长电弧运动轨迹的方法提高靶材的
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