提高多晶硅纯度的氢气纯化装置
日期:2011-06-21 17:05
十家多晶硅企业，对于推动半导体、电子信息、LED照明和光伏发电等战略性新兴产业发展具有重要意义。
现场示范结果还表明，通过对循环氢气进行纯化，可使多晶硅质量均达到电子级标准。对于循环氢气中含量有时会突然增大的甲烷或者氮气，该纯化装置可以不断将其从体系中去除，使大循环体系的氢气质量得到明显改善。采用其纯化后的氢气生产多晶硅，产品中金属杂质含量相对稳定，表明该纯化器可以为多晶硅稳定生产发挥保障作用。
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