提高多晶硅纯度的氢气纯化装置
日期:2011-06-21 17:05
据悉，在多晶硅生产过程中，原料带进的各种超痕量金属杂质（ppb级）会在多晶硅上沉积，对产品质量产生很大影响，而传统变压吸附和深冷技术难以对这些痕量和超痕量杂质进一步脱除。金属钯复合膜则可以对这些杂质进行有效拦截，使得各种杂质含量降低百倍以上，从而大大提高多晶硅产品纯度和质量。
大连华海制氢设备有限公司、中科院大连化物所共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置日前完成了200m3/h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。
该技术是大连化物所在国内外率先实现产业化的专利技术，可应用于我国几
1/3 下一页 上一页 首页 尾页
返回
刷新
WAP首页
网页?/a>
登录
09/16 14:18