预测LED市场将在2019年达巅峰后呈递减状
日期:2013-01-09 16:56
设备约有280台，其中有200台是在2011年或2012年安装的。2012年估计也将维持在这个水平。
目前，提高PSS产能的企业有三种。第一种是蓝宝石基板生产商;第二种是购买标准晶圆，自行PSS化的LED生产商;第三种是购买基板，形成图案后销售的专业PSS代工商。
等离子蚀刻是在基板上确定图案后对光刻胶层进行处理，因此催生出了掩模定位使用的工具和步进机的需求。但掩模定位用工具很难达到PSS要求的分辨率，步进机的分辨率虽然可以满足要求，但在不造成断裂或裂缝的前提下刻画晶圆大小的图案时会出现问题。以50mm晶圆为例，PSS制造的成品率通常为80～93%，但对于100mm晶
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